Modification of carbon related films with energy beams

エネルギービームを用いた炭素系薄膜の改質

楢本洋; Xu, Y.; 鳴海一雅; Vacik, J.; Zhu, X.; 山本春也; 宮下喜好*

Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Narumi, Kazumasa; Vacik, J.; Zhu, X.; Yamamoto, Shunya; Miyashita, Kiyoshi*

イオンやレーザー等の指向性エネルギービームを炭素系薄膜に照射することにより、例えばフラーレン薄膜は、さまざまな同位体へと変換する。この改質過程を、空間的に制御したり、結合状態を制御することにより、新しい機能を付与可能であることを、具体的事例を交えて、総合的に報告する。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol.647
巻	:
号	:
ページ数	:	p.O5.18.1 - O5.18.16
発行年月	:	2001/00
発表会議名	:	Materials Research Society 2000 Fall Meeting
開催年月	:	2000/11
開催都市	:	Boston
開催国	:	U.S.A.
キーワード	:	Ion-Beam-Deposition; Ion-Beam-Assisted Deposition; Amorphous Carbon; Diamond Nano-crystral; Ion-Irradiated-Effect; Laser-Irradiated-Effect

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登録番号 : B20001551
抄録集掲載番号 : 291059
論文投稿番号 : 18562

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