Development of a fast multi-parameter data acquisition system for microbeam analyses

マイクロビーム分析のための高速マルチパラメーター測定システムの開発

酒井卓郎; 浜野毅*; 平尾敏雄; 神谷富裕; 室園廣介*; 井上淳一*; 松山成男*; 岩崎信*; 石井慶造*

Sakai, Takuro; not registered; Hirao, Toshio; Kamiya, Tomihiro; not registered; not registered; Matsuyama, Shigeo*; not registered; Ishii, Keizo*

市販のパーソナルコンピューター(PC)とADコンバーター(ADC)を用いた、多ch同時検出システムの開発を行った。このシステムは高速データ取り込みとオンラインでのデータ処理を行うため、最新のCPUと大容量のメモリ(128MBy tes)が搭載されている。このシステムを原研高崎に設置されている、軽・重イオンマイクロビーム形成装置に適用することにより、PIXEやRBSによる微細領域における2次元元素分析や、半導体素子中に重イオン照射により生成される電荷収集の分布を2次元(IBIC)で観測することが可能になった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	136-138
号	:
ページ数	:	p.390 - 394
発行年月	:	1998/00
発表会議名	:	13th International Conference on Ion Beam Analysis (IBA-13)
開催年月	:	1997/07
開催都市	:	Portugal
開催国	:
キーワード	:	イオンマイクロビーム; PIXE; RBS; IBIC

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1016/S0168-583X(97)00862-8
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:	パーセンタイル：79.13 分野：Instruments & Instrumentation
Altmetrics	:

登録番号 : B19970683
抄録集掲載番号 : 260795
論文投稿番号 : 15765

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