平塚 一 
; 三代 康彦; 小池 常之; 清水 正亜; 小室 健一*
Hiratsuka, Hajime; Miyo, Yasuhiko; not registered; Shimizu, Masatsugu; not registered
JT-60Uではプラズマ原料ガスの注入にバイモルフ型圧電素子弁を用いているが、経年変化等により流量に変化が現われ、実験運転に支障をきたしてきた。そこで、特性等に優れた積層圧電アクチュエータを用いててこタイプの圧電素子弁を開発した。開発した積層圧電アクチュエータ型圧電素子弁は、実験運転におけるガス流量範囲が新範囲を有するように動作するものであり、試験の結果、ヘリウムリーク量1.33
10
Pam
/s以下、水素ガス0.2MPa背圧において最大流量~30.7Pam/sを有している。重水素ガスにおいても、分子量比に比例した安定な流量を得た。本報告書は、開発した積層圧電アクチュエータ型圧電素子弁の構造、特性及び試験結果等についてまとめたものである。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
|---|---|---|
報告書番号 |
: | JAERI-Tech 94-037 |
ページ数 |
: | 43 Pages |
発行年月 |
: | 1995/01 |
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論文URL |
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キーワード |
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