Improvement of diffraction efficiency of dielectric transmission gratings using anti-reflection coatings

無反射コーティングを用いた透過型回折格子の回折効率向上

永島 圭介; 小菅 淳  ; 越智 義浩; 田中 桃子

Nagashima, Keisuke; Kosuge, Atsushi; Ochi, Yoshihiro; Tanaka, Momoko

透過型回折格子の回折効率を向上するための新しい方法を提案した。この方法では、回折格子領域と基板の間に誘電体多層膜を挿入する。この多層膜は透過型回折格子に対して無反射コーティングとして働く。この無反射コーティングを用いた格子数1740本/mmの回折格子が99%以上の回折効率を持つことを明らかにした。

A novel method for increasing diffraction efficiency of transmission gratings is proposed. In this method, dielectric multilayers are inserted between a grating region and a substrate. These multilayers work as an anti-reflection coating for the transmission grating. It is presented that a grating with 1740 grooves/mm has the diffraction efficiency over 99% using this anti-reflection coating.