時間分解反射率法によるフェムト秒レーザーアブレーションの実時間観測

Direct measurement of femtosecond laser ablation processes using time-resolved reflectivity

熊田 高之   ; 赤木 浩; 板倉 隆二; 乙部 智仁; 横山 淳

Kumada, Takayuki; Akagi, Hiroshi; Itakura, Ryuji; Otobe, Tomohito; Yokoyama, Atsushi

フェムト秒レーザーアブレーションには、圧力波により固体試料表層部が機械的に剥離する非熱的なアブレーション過程があると言われている。しかしながら、熱的過程と明瞭に区別できる実験結果が乏しかった。我々は時間分解反射率測定装置を組み上げ、石英試料において非熱的にアブレーションが起きていることを示す、剥離体と試料母体における反射波の干渉を観測することに成功した。

It is considered that not only thermal process but also non-thermal process named Spallation plays an important role on femtosecond laser ablation processes. However, few experimental results, which support the non-thermal process, have been reported. We succeeded in observing an experimental evidence of the spallation process on fused silica using time-resolved reflectivity.