2002年度

Surface Science

300564
Effects of annealing and quenching treatments on reconstruction of rutile thin films on sapphire substrates
Choi, Y.* ; 山本春也 ; 阿部弘亨 ; 伊藤久義
Surface Science 499(2-3), p.203-209(2002) ; (JAERI-J 19095)

　レーザー蒸着法によってサファイア上に作製した酸化チタン薄膜のモルフォロジーの薄膜や熱処理温度(アニール及び冷却)依存性をAFM，XRD，SEM/EDXなどの手法を用いて調べた．特に，5nm程度の膜厚では，モルフォロジーはアニールと冷却の条件に強く依存することがわかった．高温でのサファイア基板表面の不安定性に基づき熱処理による基板上での酸化チタン粒の形成モデルを提案した．