2002年度

Proceedings of 2nd International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications (IFSA2001)

301276
Study on a high brightness X-ray source from a laser produced plasma
鈴木将之* ; 山神晋* ; 長井圭治* ; 乗松孝好* ; 三間圀興* ; 村上陽一* ; 中山斌義* ; Yu, W.* ; Fiedorowicz, H.* ; Choi, I. W.* ; 大道博行
Proceedings of 2nd International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications (IFSA2001), p.1252-1255(2001) ; (JAERI-J 19690)

　レーザープラズマX線源は，縮小転写型の（EUV）リソグラフィー，X線顕微鏡，LIGAプロセスなどに応用が可能である．レーザープラズマX線源をこれらに応用するためには，発生するX線の特性評価を行う必要がある．このことからわれわれのグループでは，デブリフリーでかつ高密度状態を維持することが可能なダブルノズルガスパフターゲットを用いたときのX線放射の特性評価を行った．アルゴン，クリプトン，キセノンをターゲットに用いたときの8-20nmのX線は，斜入射型回折分光器（1200 grooves/mm）を用いて分光した像を背面照射型のCCDカメラを用いて結像を行った．また，0.3-0.4nmにおける波長域の硬X線は，ADP結晶を用いて波長分解を行った．結果，8-20nmの波長域では，固体ターゲットを用いたときと同程度のX線放射が得られた．また0.3-0.4nmの波長域では，アルゴンのKα線からのX線放射がみられた．このことから，ガスターゲットを用いたときでも高輝度な硬X線の発生が見られることがわかった．