2003年度

化学工業

320127
リアルタイム光電子分光による極薄チタニウム酸化膜形成過程の「その場」観察
高桑雄二* ; 石塚眞治* ; 吉越章隆 ; 寺岡有殿
化学工業 54(9), p.687-692(2003) ; (JAERI-J 20661)

　Ti(0001)表面が酸素ガスによって酸化される様子を実時間その場光電子分光観察した結果について解説する．Ti-2p光電子スペクトルが金属TiからTiO₂に変化する様子から各酸化成分の時間変化が明らかとなった．