2004年度

Japanese Journal of Applied Physics

330156
Characteristics of extreme ultraviolet radiation conversion efficiency of a xenon plasma
Masnavi, M.* ; 中島充夫* ; 佐々木明 ; 堀田栄喜* ; 堀岡一彦*
Japanese Journal of Applied Physics 43(12), p.8285-8291(2004) ; (JAERI-J 21558)

　半導体リソグラフィ用EUV光源としてレーザープラズマと並んで注目されている放電プラズマの放射特性の理論的な解析を行った．本論文では，放電励起プラズマが10¹⁸/cm³程度の低密度であることによる非平衡原子過程の効果に注目し，電離過程を時間依存，励起過程を定常とみなす準定常(QSS)モデルでポピュレーションを評価し，さらにHULLACによる詳細原子データを用い， Xe¹⁰⁺の4d-5p遷移の構造を考慮して13.5nm帯の発光強度の評価を行ったところ，定常状態を仮定した場合よりも効率が向上する可能性があることがわかった．

320924
X-ray topography on domain-controlled BaTiO₃ crystals
米田安宏 ; 水木純一郎 ; 香村芳樹* ; 鈴木芳生* ; 濱崎真一* ; 高重正明*
Japanese Journal of Applied Physics 43(9B), p.6821-6824(2004) ; (JAERI-J 21325)

　強誘電体のドメイン近傍では異なる格子定数をつなぎ合せるために格子歪みが生じることをBaTiO₃を用いて示した．ドメイン境界が増えればドメイン近傍での歪みも増える．したがってドメインを小さくしていけばこの歪みが結晶全体に行き渡り，平均構造を代えてしまう可能性がある．このことを確かめるためにBaTiO₃に欠陥を導入することによって微小なドメインを均一に作製することができた．このサンプルを放射光トポグラフィを用いて評価したところ，平均構造はわずかに歪んでいるものの，ほぼcubic構造であることがわかった．すなわち，ドメイン近傍における局所的な歪みによって誘起された平均構造である．この結果はリラクサーのようなマイクロドメイン強誘電体を理解するうえで重要な実験結果である．