2004年度

Surface and Coatings Technology

320450
In-situ observation of surface blistering in silicon by deuterium and helium ion irradiation
五十嵐慎一* ; 武藤俊介* ; 田辺哲朗* ; 相原純 ; 北條喜一
Surface and Coatings Technology 158-159, p.421-425(2002) ; (JAERI-J 20909)

　低角度入射電子顕微鏡法を用いて，シリコンブリスタリングのその場観察を行った．重水素照射により形成されるブリスターの大きさ，密度は，電子線照射領域内では領域外より明らかに小さいことがわかった．これは高エネルギー電子線による電子励起により，シリコン不飽和結合の重水素による終端化が抑制されたためである．また，フラックスが高いと，ブリスターが形成されるより前に，フレーキングが起きることも明らかにした．さらに，重水素照射では，注入重水素の最大飛程よりさらに浅いところで，重水素終端された欠陥が形成され，そこで劈開が起こり，ブリスターとなることを明らかにした．