量子ビームが開く原子レベルの固体表面反応・解析

Atomic level solid surface reactions and their analysis promoted by quantum beams

Urisu, Tsuneo*; Kitajima, Masahiro*; Teraoka, Yuden

従来より応用物理学会でも各種のビームによって誘起される表面化学反応に関する研究成果が発表されてきた。ビーム励起表面反応を極微細プロセスとその評価技術のシーズとして改めて見直すことは、原子レベルの革新的表面反応制御及び評価技術の開発が急がれる今日では是非必要と考えられる。そのような見地からシンポジウムを企画した。本報告ではレーザー,放射光,分子線,電子線,イオンビームによって誘起される表面反応やその解析に関する講演内容の概略を報告した。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	応用物理
巻	:	71
号	:	1
ページ数	:	p.114 - 115
発行年月	:	2002/01
発表会議名	:
開催年月	:
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開催国	:
キーワード	:	量子ビーム; 原子レベル; 固体表面; 表面反応; 反応解析

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論文URL	:	http://joi.jlc.jst.go.jp/JST.Journalarchive/oubutsu1932/56.114
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登録番号 : A20010465
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