Sputtering of nano-crystalline gold by high energy heavy ions

高エネルギー重イオンによる金ナノ結晶のスパッタリング

Matsunami, Noriaki*; Sataka, Masao; Iwase, Akihiro; Inami, Takashi*; Kobiyama, Mamoru*

物質に対する放射線の効果において、結晶粒の大きさと電子励起との2つの効果を調べるために、ナノ結晶の金と多結晶の金について高エネルギー重イオンによるスパッタリング収率の測定を行った。その結果2つの試料に対するスパッタリング収率は有意な差が見られなかった。また、その収率は弾性衝突カスケードによる計算値と一致し、電子励起効果は見えなかった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Nuclear Materials
巻	:	302
号	:	2-3
ページ数	:	p.206 - 210
発行年月	:	2002/04
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キーワード	:	ナノ結晶; 金; スパッタリング; 重イオン

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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/S0022-3115(02)00773-0
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：47.9 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : A20010637
抄録集掲載番号 : 301040
論文投稿番号 : 19477

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