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Pumping characteristics of roots blower pumps for light element gases

ルーツ真空ポンプの軽元素ガスに対する排気特性

廣木 成治 ; 阿部 哲也 ; 丹澤 貞光; 中村 順一*; 大林 哲郎*

Hiroki, Seiji; Abe, Tetsuya; Tanzawa, Sadamitsu; Nakamura, Junichi*; Obayashi, Tetsuro*

ITER粗引システム設計の妥当性を評価するため、2段ルーツ真空ポンプシステムの軽元素ガス(軽水素H$$_{2}$$,重水素D$$_{2}$$,ヘリウムHe)及び窒素ガスN$$_{2}$$に対する排気特性(排気速度及び圧縮比)の試験をITER R&Dタスクとして実施した。試験では、エドワーズ社ルーツ真空ポンプEH1200(1台,公称排気速度1200m$$^{3}$$/s)と同EH250(2台,同250m$$^{3}$$/s)及びロータリーポンプ(1台,同100m$$^{3}$$/s)を直列に接続し、ヨーロッパ真空規格に準拠して実験を行った。そして、2段ルーツ真空ポンプシステムのD$$_{2}$$及びN$$_{2}$$に対する最大排気速度はそれぞれ、1200と1300m$$^{3}$$/hであり、公称排気速度を満たすことを確認した。本試験結果は、2段ルーツ真空ポンプシステムからなるITER粗引システム設計の妥当性を裏付けるものである。

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