検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Ion beam modification of ZnO thin films on MgO

酸化マグネシウム上の酸化亜鉛のイオンビーム改質

松波 紀明*; 伊藤 正治*; 高井 吉明*; 田沢 真人*; 左高 正雄

Matsunami, Noriaki*; Ito, Masaharu*; Takai, Yoshiaki*; Tazawa, Masato*; Sataka, Masao

MgO上に成長させたZnO薄膜のイオン照射による結晶性,光学的・電子的特性を調べた。イオンは100keVのNeイオンを用い、照射は10dpaまで行った。照射による結晶粒の成長がSEMにより確認された。X線回折の結果から結晶方向の再配置が見られた。可視光領域での透明度はこの照射量では変化はなかった。電気抵抗は低照射量領域では照射量とともに100倍以上増大し、その後減少し、照射前に対し約2倍のほぼ一定値を保った。単結晶フィルムとキャリアをドープしたフィルムについても議論する予定である。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:80.84

分野:Instruments & Instrumentation

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.