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高分解能四極子質量分析計の開発とセラミックス製四極子電極の試作

Developments of high-resolution quadrupole mass spectrometer and ceramic single-piece quadrupole

阿部 哲也 ; 廣木 成治 

Abe, Tetsuya; Hiroki, Seiji

核融合研究において、D$$_{2}$$中の$$^{4}$$Heを検出できる真空計測器を開発する必要性は、(1)D-T反応の最適制御のため、(2)$$^{4}$$Heをプローブガスとして用いる真空リーク探知のため、である。しかしながら、D$$_{2}$$$$^{4}$$Heの質量差は、0.0256amuと極めて小さいため、従来型の四極子質量分析計(QMS)では、両者を分別測定することは非常に難しかった。このため原研では、QMSの高分解能化にとりくみマシュー方程式の第2安定領域を計測原理としたQMSを開発してD$$_{2}$$,$$^{4}$$Heを分別測定することに成功した。本論文では、この開発した高分解能QMSの計測原理、実測シグナル例及びQMSの耐熱性向上を目指したセラミックス製四極子電極を有する高分解能QMSの性能等について述べる。

no abstracts in English

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