検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

エネルギーフィルター電子顕微鏡法の原理と応用

Principle of energy-filtering transmission electron microscopy and its applications

倉田 博基

Kurata, Hiroki

近年、透過電子顕微鏡を用いて、試料の局所分析を行う手法が活発に研究されている。なかでも、電子エネルギー損失分光法を複合した分析電顕では、ナノメートルオーダーの空間分解能で、局所元素分析や状態分析を行えるまでに進展した。更に、電顕の結像機能を積極的に利用して、特定元素の空間分布を可視化するマッピング技法も、エネルギーフィルター電子顕微鏡により可能となった。本総説では、エネルギーフィルター電顕法の原理を解説し、元素マッピング等の材料科学への応用について概説した。特に、元素マッピングの性能を決定する、フィルター像の空間分解能についても論じた。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.