Gold nanoparticle fabrication in single crystal SiO $_{2}$ by MeV Au ion implantation and subsequent thermal annealing

MeV Auイオン注入とその後の熱処理によるSiO $_{2}$ 単結晶中での金ナノ粒子形成

Dai, Z.*; Yamamoto, Shunya; Narumi, Kazumasa; Miyashita, Atsumi; Naramoto, Hiroshi

3MeV AuイオンをSiO $_{2}$ (0001)単結晶に室温注入して、自発的析出量よりも低い注入領域での、熱処理による微粒子形成過程を、光学吸収、X線回折及びRBS/Channeling法により詳細に調べた。その結果、110 $^{16}$ /cm $^{2}$ 注入後、1000 $^{circ}$ C,5hr熱処理することにより、平均半径4.2nmの超微粒子(Au)を形成するが、深さ分布そのものは、注入時の条件を保持できることを明らかにした。

no abstracts in English

使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	149
号	:	1-2
ページ数	:	p.108 - 112
発行年月	:	1999/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Ion Implantation; Au; SiO $_{2}$ ; Nano-particle

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1016/S0168-583X(98)80730-1
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:	パーセンタイル：74.07 分野：Instruments & Instrumentation
Altmetrics	:

登録番号 : A19980417
抄録集掲載番号 : 270340
論文投稿番号 : 16247

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.

Gold nanoparticle fabrication in single crystal SiO by MeV Au ion implantation and subsequent thermal annealing

MeV Auイオン注入とその後の熱処理によるSiO単結晶中での金ナノ粒子形成

Gold nanoparticle fabrication in single crystal SiO $_{2}$ by MeV Au ion implantation and subsequent thermal annealing

MeV Auイオン注入とその後の熱処理によるSiO $_{2}$ 単結晶中での金ナノ粒子形成