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最近の軟X線領域用ホログラフィック回折格子

Recent holographic gratings for soft X-ray region

小池 雅人

Koike, Masato

最近の軟X線領域用ホログラフィック回折格子について概説する。約20年前の萌芽期の様子から最近の放射光用斜入射平面回折格子分光器用回折格子、原研で初めて開発した平面結像型斜入射球面回折格子分光器用回折格子について、開発秘話を含めて述べる。非球面波露光法と、ラミナー型溝形状加工による回折格子が、数keV領域まで回折格子の実用波長領域を拡張し、なおかつ低迷光、高次光である特長についてもふれる。

no abstracts in English

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