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LSIのシングルイベント効果

Single-event effects on LSIs

梨山 勇

Nashiyama, Isamu

高エネルギー粒子の入射で半導体デバイスに生じるシングルイベント効果の概要を解説する。まずシングルイベント効果の種類と特徴を述べ、その中からバーンアウトについて詳しい説明を加えた。この現象は人工衛星に回復不能な故障を生じるため、発生してはならないものとされている。次に重イオンマイクロビームを用いたシングルイベント効果の機構解明の研究を紹介し、SOI基板を用いることでシングルイベント効果を抑制できることを示した。

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