Zhang, Z.; 鳴海 一雅; 楢本 洋; Wu, Z.*; 山本 春也; 宮下 敦巳
Zhang, Z.; Narumi, Kazumasa; Naramoto, Hiroshi; Wu, Z.*; Yamamoto, Shunya; Miyashita, Atsumi
炭素薄膜をスパッターリング法により作成して、その構造及び光学特性について評価した報告である。基板には
-Al
O
(0001)を用い、スパッターリング用イオン種には、3keVCH
, N
,Arを用いた。結合状態の評価のために、オージェ電子分光及び顕微ラマン分光法を利用した。また光学特性の評価のため、顕微可視光分光計を反射モードで用いた。これらの解析の結果、CHやNイオンを用いた場合、SP
結合の割合が高く、それに対応して光学バンドギャップも
1.75eVから2.7eVへと大きく変化することを明らかにした。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
|---|---|---|
掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 11 |
号 |
: | 25 |
ページ数 |
: | p.L273 - L277 |
発行年月 |
: | 1999/06 |
キーワード |
: | Sputtering; Diamond; Carbon; Film; Auger Spectroscopy; Raman Spectroscopy |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：13.27 分野：Physics, Condensed Matter |
Altmetrics |
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