not registered; not registered; Koike, Masato; not registered
16Gbit DRAMの実現をめざし線幅0.1
mで26mm
44mmの露光面積を可能とする縮小投影露光々学系を設計した。この設計の特長は大露光面積、低歪み、高密度露光にあり、非球面鏡3面、平面鏡1面を使用している。平面鏡はマスク及びウエハーの走査を容易とし、12$マ$スク及びウエハーを使用可能とするために必要となった。主な仕様は開口数0.1、縮小倍率1/5、MFTは5000本/mmで0.73である。この条件で波長13mmのインコヒーレント光を用い0.1mの解像が可能と予測される。5000本/mmでの焦点深度は1.5mである。ウエハー上での一回の露光面積は3.5mm幅、26mmの円弧状で、マスクとウエハーを同期移動させることにより最終的に26mm44mmの露光面積を得る。さらに調整誤差、鏡のスロープ誤差等の解像に与える影響を考察した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 3152 |
号 |
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ページ数 |
: | p.211 - 220 |
発行年月 |
: | 1997/00 |
発表会議名 |
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開催年月 |
: | 1997/07 |
開催都市 |
: | America |
開催国 |
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キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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