Production of multiply charged metallic ions by compact electron cyclotron resonance ion source with SF $_{6}$ plasma

MINI-ECRを用いた金属多価イオンの生成

Saito, Yuichi; Okoshi, Kiyonori; Yokota, Wataru

多価用ECRイオン源でSF $_{6}$ プラズマを用い高融点物質をイオン化する新しい方法を開発した。これにより、B,Nb,Mo,Ta,Wの各多価イオンをAのオーダーで得ることに成功した。この方法は、SF $_{6}$ プラズマ中のフッ素イオンと上記試料との反応により、試料のフッ化物を生成し蒸気圧を高めさせることにより、気化させ試料イオンを得るものである。安定なSF $_{6}$ ガスを用いることにより、フッ素ガスがイオン源構造物を浸食するのを防ぎ、長時間の安定運転を可能にした。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Review of Scientific Instruments
巻	:	69
号	:	2
ページ数	:	p.703 - 705
発行年月	:	1998/02
発表会議名	:	7th International Conference on Ion Sources (ICIS '97)
開催年月	:	1997/09
開催都市	:	Italy
開催国	:
キーワード	:	多価イオン; 金属イオン; ECRイオン源; SF $_{6}$

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1063/1.1148569
研究データの公開先DOI	:
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広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：49.2 分野：Instruments & Instrumentation
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登録番号 : B19971079
抄録集掲載番号 : 260485
論文投稿番号 : 15510

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Production of multiply charged metallic ions by compact electron cyclotron resonance ion source with SF plasma

MINI-ECRを用いた金属多価イオンの生成

Production of multiply charged metallic ions by compact electron cyclotron resonance ion source with SF $_{6}$ plasma