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Molecular dynamics evaluation of self-sputtering of beryllium

ベリリウムの自己スパッタリングの分子動力学評価

植田 脩三; 逢坂 俊郎*; 桑島 聖*

Ueda, Shuzo; not registered; not registered

分子動力学によりスパッタリング計算を行う方法は、結晶内の原子の配置の時間的変化が追える点で、直観的に把握しやすく優れている。この方法は、定性的メカニズムを把握するには有効であることが既に知られているが定量的にはどのような評価が得られるかは余り調べられていない。著者らは、核融合プラズマ対向材料であるベリリウムの自己スパッタリングを対象に分子動力学法を用いて評価し公表された他の方法による結果と比較して見た。計算は粒子数、圧力、エネルギー一定のアンサンブルを使用し、入射粒子のエネルギー、入射角度をパラメータとして実施した。その結果、以下の結論が得られた。ベリリウムの自己スパッタリング率のエネルギー依存性はBohdanskyの経験則と良く一致していた。スパッタリング率の入射角依存性は、公表されたモンテカルロ法による結果と良く一致していた。

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