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小型ECRイオン源によるSF$$_{6}$$プラズマを用いた金属イオン生成

Production of metallic ions by MINI-ECR with SF$$_{6}$$ plasma

齋藤 勇一; 大越 清紀 ; 横田 渉

Saito, Yuichi; Okoshi, Kiyonori; Yokota, Wataru

イオン源において、高融点金属をフッ化し蒸気圧を上げることにより、その金属を含む蒸気をプラズマ中に導入する方法を開発した。試料をフッ化及びイオン化させるためのプラズマをSF$$_{6}$$で生成することにより長時間安定な運転に成功した。本方法はプラズマからイオンを引き出すタイプのイオン源に広く応用することができ、これにより容易に金属イオンが得られる。

no abstracts in English

使用言語

 :

Japanese

掲載資料名

 :

第8回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム

巻

 :

号

 :

ページ数

 :

p.27 - 30

発行年月

 :

1997/00

発表会議名

 :

第8回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム(BEAMS'97)

開催年月

 :

1997/11

開催都市

 :

京都

開催国

 :

キーワード

 :

SF$$_{6}$$; フッ化; イオン源; プラズマ

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

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広報プレスリリース

 :

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