Application of the field emitter array to the vacuum measurements

フィールド・エミッター・アレイの真空計測への応用

Ogiwara, Norio; Suganuma, Kazuaki; Miyo, Yasuhiko; Kobayashi, Shinichi*; Saito, Yoshio*

数T以上の強磁場で真空計測を実現するには、熱フィラメントにかわる電子源が必要とされる。本研究では、核融合装置における真空計測の実現をめざして行った電界放出型微小エミッタンスアレイ(FEA)の評価に関するものである。得られた結果は以下のとおり。(1)150 $^{circ}$ C以上でベークアウトを行い、1日程度のならし運転により電流のゆらぎは2%以下となる。(2)200 $^{circ}$ Cで200時間程度のベークアウトを行うことにより500Aの放出電流で放出ガス量を110 $^{-13}$ Pa・m $^{3}$ /s以下とすることができる。また、この熱処理による寿命短縮はない。(3)このFEAを用いて極高真空(10 $^{-10}$ 以下)下での分圧測定を実現した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Applied Surface Science
巻	:	146
号	:	1-4
ページ数	:	p.234 - 238
発行年月	:	1999/00
発表会議名	:	2nd Int. Vacuum Electron Sources Conf.
開催年月	:	1998/07
開催都市	:	つくば
開催国	:
キーワード	:	フィールドエミッタアレイ; 真空計測; 放出ガス; 強磁場

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00065-3
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：42.18 分野：Chemistry, Physical
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登録番号 : B19980588
抄録集掲載番号 : 271260
論文投稿番号 : 16995

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