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Application of the field emitter array to the vacuum measurements

フィールド・エミッター・アレイの真空計測への応用

荻原 徳男; 菅沼 和明 ; 三代 康彦; 小林 信一*; 齊藤 芳男*

Ogiwara, Norio; Suganuma, Kazuaki; Miyo, Yasuhiko; Kobayashi, Shinichi*; Saito, Yoshio*

数T以上の強磁場で真空計測を実現するには、熱フィラメントにかわる電子源が必要とされる。本研究では、核融合装置における真空計測の実現をめざして行った電界放出型微小エミッタンスアレイ(FEA)の評価に関するものである。得られた結果は以下のとおり。(1)150$$^{circ}$$C以上でベークアウトを行い、1日程度のならし運転により電流のゆらぎは2%以下となる。(2)200$$^{circ}$$Cで200時間程度のベークアウトを行うことにより500$$mu$$Aの放出電流で放出ガス量を1$$times$$10$$^{-13}$$Pa・m$$^{3}$$/s以下とすることができる。また、この熱処理による寿命短縮はない。(3)このFEAを用いて極高真空(10$$^{-10}$$以下)下での分圧測定を実現した。

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分野:Chemistry, Physical

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