ビームプロファイルモニタを利用したビーム強度計測

Beam current monitor with secondary electrons from the moving wire probe

中嶋 佳則; 齋藤 勇一; 田島 訓

Nakajima, Yoshinori; Saito, Yuichi; Tajima, Satoshi

試料に照射されるビーム電流は、通常試料を絶縁して測定される。しかし、複数の加速器を用いて行う複合ビームの照射の場合は、それぞれのビーム電流を試料上で分けて測定することができないため、長時間照射におけるビーム電流の経時的な変化が問題となる。このような問題点を解決するため、試料にビームを照射しながら各加速器からのビーム電流値を測定できる、透過型ビーム電流計の開発をすすめている。これは、ビーム中に金属ワイヤーメッシュを挿入し、そこから発生する二次電子量をビーム電流値に換算するものである。今回は、予備的な実験として、タンデム加速器及びイオン注入装置に設置されているビームプロファイルモニタを使用し、数種類のイオン種について電荷数及びエネルギーを変えて、その時の二次電子電流を測定した。

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