Preparation of nitride films by Ar $^{+}$ -ion bombardment of metals in nitrogen atmosphere

窒素雰囲気におけるAr $^{+}$ イオン照射による金属窒化物薄膜の生成

Baba, Yuji; Sasaki, Teikichi; Takano, Ichiro*

イオンビームを用い、金属表面に窒化物薄膜を生成させる手法及びその生成機構について検討した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	J. Vac. Sci. Technol., A
巻	:	6
号	:	5
ページ数	:	p.2945 - 2948
発行年月	:	1988/09
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キーワード	:	Ion Beam

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登録番号 : A19870349
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Preparation of nitride films by Ar-ion bombardment of metals in nitrogen atmosphere

窒素雰囲気におけるArイオン照射による金属窒化物薄膜の生成

Preparation of nitride films by Ar $^{+}$ -ion bombardment of metals in nitrogen atmosphere

窒素雰囲気におけるAr $^{+}$ イオン照射による金属窒化物薄膜の生成