Thermal desorption of deuterium and helium implanted in oxide overlayers of molybdenum

モリブデン酸化被膜に注入した重水素及びヘリウムの昇温脱離

種々の条件下で作成したモリブデン酸化被膜に、重水素及びヘリウムイオンを注入し、その昇温脱離挙動より、注入イオンの捕捉状態を調べた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	J. Vac. Sci. Technol., A
巻	:	6
号	:	5
ページ数	:	p.2933 - 2937
発行年月	:	1988/09
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キーワード	:	Thermal Desorption

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登録番号 : A19870395
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