On the surface modification of oxygen-exposed molybdenum during sputtering

イオン衝撃下における酸素暴露モリブデンの表面改質について

酸素雰囲気下でAr $^{+}$ イオン照射したモリブデンの表面化学組成及び化学形について、オージ電子分光法及び、X線励起光電子分光法により調べた。Ar $^{+}$ イオンの同時照射により、気相系からの酸素の取り込みは増加し、また、種々の原子価から成る酸化物が形成されることがスペクトル解析より判明した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	J. Vac. Sci. Technol., A
巻	:	6
号	:	4
ページ数	:	p.2410 - 2414
発行年月	:	1988/07
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キーワード	:	Auger Elcctror Spectroscopy

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登録番号 : A19870529
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