ナイフエッジ型メタルシールフランジの改良に関する検討

A Study for the improvement on knife-edge-type metal-seal flanges

小原 建治郎; 中村 和幸 ; 村上 義夫; 長沼 正光*; 喜多村 和憲*; 内田 孝穂*; 近藤 光昇*

Obara, Kenjiro; Nakamura, Kazuyuki; Murakami, Yoshio; not registered; not registered; not registered; not registered

真空装置の構成部品であるフランジとガスケットには各種の形状、材質のものがある。なかでも、ナイフエッジ型メタルシールフランジと無酸素銅ガスケットの組み合わせは信頼性が高く多用されている。しかしながら、その使用においては多くのボルト、ナットを一定のトルクで締め付けなければならず、作業性が悪い。改良型フランジは、締結作業の合理化を目的に開発されたもので、従来型に比べ、ボルト本数で1/2~1/3、締め付けトルクで3/5、フランジの板厚で7/10程度となっている。本報告では、従来型フランジに関する調査、試験及び理論解析をはじめ、改良型フランジの開発について述べる。

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