負イオン源試験装置用大容量クライオポンプの開発

Development of large scaled cryopump for negative ion beam extraction test stand

柴沼 清; 奥村 義和; 柴田 猛順

Shibanuma, Kiyoshi; Okumura, Yoshikazu; Shibata, Takemasa

水素ガスに対する排気速度100m/secの液体ヘリウム使用の大容量クライオポンプの開発を行った。自然循環を行う定常ラインと予冷ラインに二重管構造を採用することにより、配管類の大幅な合理化を行った。しかも、予冷時の効果的冷却と定常時の安定冷却を同時に達成することができた。また、クライオパネルを二重円筒の中空構造とすることにより、定常運転時の液体ヘリウムの保有量が減り、液体ヘリウムの消費量を低減することができた。水素ガスに対する排気速度の測定値は107m/secであり、設計値111m/secと極めて良い一致を示した。

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