大面積イオンビーム源

Large area ion source

広い面積から大電流のイオンビームを発生する技術が、核融合プルトニウムの加熱用に急速に進展してきた。現在では、多極磁場型プラズマ源と多孔型電極を用いて、イオン源単体として100KeV、100A級のイオンビームを準定常的に発生させる技術が確立されている。工業的な応用を念頭に、これらの大電流イオン源の技術を概説する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	機能材料
巻	:	0
号	:	7
ページ数	:	p.42 - 53
発行年月	:	1989/07
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キーワード	:	Ion Source; High Current; Large Area; Review; Plasma Generator; Multi-aperture

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登録番号 : A19890052
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9342

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