磁場・高温・腐食性ガスに強いセラミックス製の高真空ポンプ

High vacuum pump with all-ceramic rotor assembly,favored for use in magnetic field,high temperature and corrosive gases

村上 義夫

Murakami, Yoshio

原研では核融合炉の燃料給排気系に用いる真空ポンプとして総セラミックス製の回転体(羽根車)を高速で回転させる方式のダイナミックポンプの可能性を追求し、このほど毎秒500lの気体を移送する能力を持つセラミックターボ分子ポンプの開発に成功した。今回開発に成功したポンプは羽根車の直径が210mm、段数が16段の中型機で、回転体の全長は640mm、重量は約19kgである。これを4-5気圧の圧縮気体を動力として25000rpmで回す。気体軸受け、ガスタービンを用いた総セラミックス製のターボ分子ポンプが実用になると、核融合炉だけでなく、強磁場を発生する機器や高温・放射線下などの特殊環境で使用しなければならない真空機器にも有益である。また腐食性気体を取り扱う半導体製造装置などにも利用できる。一方セラミック回転体技術は小型発電機等のガスタービンエンジンの開発にも少なからぬ影響を及ぼすものと思われる。

no abstracts in English