セラミックス製高真空ポンプの開発

Development of ceramic high vacuum pump

耐磁場・耐放射線性を有する核融合用真空ポンプの開発を目的として、現在開発中のセラミックターボ分子ポンプについて述べた。ターボ分子ポンプに耐磁場・耐放射線性等の特質を持たすための構造条件としては、(1)渦電流対策として、回転可動部を全て電気絶縁材で構成する(2)磁場との相互作用を無くすため、電気モーター、磁気ベアリングなど通電コイルを有するものを使用しない(3)潤滑油を使用しない、などである。以上からポンプの構造は、(1)セラミックス製羽根車(Si $_{3}$ N $_{4}$ 製)(2)ガスベアリング(3)非接触シールおよび(4)ガスタービンなどからなっている。現在得られている真空性能としては、排気性能0.5m $^{3}$ sec $^{-1}$ 、到達圧力10 $^{-6}$ Paなどである。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	日本原子力学会誌
巻	:	31
号	:	10
ページ数	:	p.1106 - 1108
発行年月	:	1989/10
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
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キーワード	:	Ceramic Turbomolecular Pump; Si $_{3}$ N $_{4}$ ; Experimental; Fusion Devices; Vacuum

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3327/jaesj.31.1106
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広報プレスリリース	:
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登録番号 : A19890215
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9579

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