低エネルギーイオン照射下の表面現象とその評価

Surface phenomena and their characterization under the low-energy ion irradiation

低エネルギーイオン照射下での固体表面における化学反応、照射効果等の表面現象、およびその評価に関する留意点等を中心に最近の研究例をまとめた。低エネルギーイオンを固体表面に照射した場合、特に数百eV以下のエネルギー領域では原子撹拌効果は無視し得るほど小さくなり、また表面における特異な選択性を持つ反応を引き起こすことも可能と考えられる。しかしながら、これらの現象は表面数原子層程度の極表面において生ずるために、吸着、不純物、結晶性等種々の影響を受け、その解析が困難であることが少なくない。このような現状をふまえ、最近における研究の成果と諸問題について述べた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	化学と工業
巻	:	43
号	:	3
ページ数	:	p.377 - 378
発行年月	:	1990/03
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キーワード	:	低エネルギー; イオン照射; 表面化学反応; 表面分析

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登録番号 : A19890247
抄録集掲載番号 : 43000854
論文投稿番号 : 15969

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