Development of a movable quadrupole mass spectrometer for measuring gas density

真空内可動式四重極形真空分圧計用新形分析管の開発

廣木 成治 ; 阿部 哲也 ; 小原 建治郎; 村上 義夫

Hiroki, Seiji; Abe, Tetsuya; Obara, Kenjiro; Murakami, Yoshio

真空容器内で分析管を移動させながら分圧を測定することが可能な四重極形真空分圧計を開発した。高周波同調検出回路をステンレス製の円筒形容器に入れて真空パックとし、分析管に組込んだ。また、分析管に指向性を持たせるため、ガス取込み口に細管を設けた。実験は、分析管を真空容器中央に回転導入端子を介して水平方向に30゜動かすことができるように取付けて行われた。ガス導入用ノズル先端から分析管まで125mmの距離に設定しノズルから1.910Pam/sのアルゴンガスを噴出させたとき、分析管がノズルに正対した位置(0゜)でのAr出力に対する-30゜の位置での出力の比が1.09であった。また、真空容器全体を150Cにベーキングしながらこの分圧計を作動させたが、m/e=1~50で正常なマススペクトルを得ることができた。

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