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真空材料のガス放出に対する私の見方

My view on outgassing rate of vacuum materials

村上 義夫

Murakami, Yoshio

材料の種類によるガス放出特性の本質的な相違について著者の見解を述べる。ガス放出の現象にはそれ程簡単に割り切れない面もあるが、材料毎の凡その特性を承知していると超高真空や極高真空を作成するときの対処方針が考えやすい。真空材料は、歴史的にみると、ガラス$$rightarrow$$ステンレス鋼$$rightarrow$$アルミニウム合金と変化してきた。核融合装置には黒鉛などの炭素材料も多用されている。これらの材料にはそれぞれに特徴があり、今後も目的に応じて使い分けられていくと思われるが、著者は、次世代の真空材料として、このところ急速に開発が進んでいる非酸化物系ファインセラミックスに注目しておく必要があると考えている。

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