図書「実用真空技術総覧」の分担執筆として、セラミックターボ分子ポンプの開発現状を紹介した。核融合装置用真空ポンプとして、日本原子力研究所で開発したセラミックターボ分子ポンプの構造および性能を述べ、耐磁場・耐放射線性に優れていることに言及した。また、電気を動力源として使用していないので、着火源がなく、爆発・引火物しの真空排気に対して固有安全性を有していることも、強調した。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
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巻 |
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号 |
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ページ数 |
: | p.1024 - 1026 |
発行年月 |
: | 1990/11 |
キーワード |
: | Ceramic Turbomolecular Pump; Si |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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