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In-situ EELS observation of graphite structure modification due to hydrogen ion irradiation

水素イオン照射による黒鉛結晶構造変化の電子線エネルギー損失分光法によるその場観察

櫛田 浩平; 北條 喜一

Kushita, Kohei; Hojo, Kiichi

電子線エネルギー損失分光(EELS)装置およびイオンガンを備えた100keVの電子顕微鏡内で、結晶性黒鉛に水素イオンを照射し、黒鉛の構造変化の様子をEELS、TEMおよび電子線回折法により「その場」観察した。その結果、イオン照射により黒鉛は非晶質化をおこすが、その過程には明確な臨界照射量が存在することが分かった。すなわち、非晶質化の開始および終了は、水素イオンフルエンスにして約7$$times$$10$$^{15}$$(H$$^{+}$$)/cm$$^{2}$$および3.5$$times$$10$$^{16}$$(H$$^{+}$$)/cm$$^{2}$$であり、これはそれぞれ0.05および0.25dpaに担当する。またこの非晶質化の変化は、炭素のK吸収端の微細構造(ELNES)の変化によっても裏付けられた。

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分野:Microscopy

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