透過型電子顕微鏡用イオン照射装置; 電子顕微鏡内試料イオンビーム処理動的観察記録装置

Ion accelerator linked to the electron microscope

not registered; Hojo, Kiichi; Furuno, Shigemi; not registered; not registered

本装置は、低エネルギーイオン照射装置と100kV電顕とを結合し、材料中でのガス原子の挙動を研究するために製作されたものである。この装置の特徴は高輝度・高安定なイオン銃と電顕内静電偏光プリズムとを開発し、電顕内試料上で約1A/m $^{2}$ という大電流照射を可能としたことである。ここでは、装置の設計と諸特性について示している。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	35
号	:	4
ページ数	:	p.431 - 437
発行年月	:	1992/00
発表会議名	:
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開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	イオン照射装置; 電顕; 高輝度イオン源; 静電偏向プリズム

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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.35.431
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登録番号 : A19920079
抄録集掲載番号 : 200643
論文投稿番号 : 11156

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