Tanaka, Ryuichi; Kamiya, Tomihiro
原研重イオンマイクロビーム装置とシングルイオン打込み技術に関する最近の進展及び原研におけるマイクロビーム利用計画について概要を述べる。3MVタンデム加速器に設置された重イオンマイクロビーム装置はシングルイベント効果及び集積回路の電荷収集を研究するために開発されている。この研究では、マイクロビームと単一イオンが狙い定めた局所的な領域に、試し打ちによってその場を乱すことなく、打込むことが要求されている。ビーム集束性能については、ビームサイズ1
mの設計性能がすでに達成されており、現在はシングルイオン打込み技術の開発が進められている。より高いエネルギーの重イオンマイクロビームの応用の試みについても検討を進めている。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 79 |
号 |
: | 1 |
ページ数 |
: | p.432 - 435 |
発行年月 |
: | 1993/07 |
キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：61.29 分野：Instruments & Instrumentation |
Altmetrics |
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