イオンマイクロビーム技術とその応用の新展開

Ion microbeam technique and development for its new application

MeV領域のイオンマイクロビーム技術は、これまで主として局所微量元素分析の手段として、最近十数年間に急速に進歩した。この目的には軽イオンが使われてきたが、新しい応用として、半導体素子や生物細胞等の複雑な内部構造をもつ系内の局所照射効果の研究に重イオンマイクロビームを用いる研究が注目を集めている。ここでは、局所重粒子照射効果の研究を目的とする重イオンマイクロビーム形成、照準及びシングルイオンヒット技術の最近の研究を紹介する。また、サブミクロンあるいはそれ以下のマイクロビーム形成の研究やさらに高いエネルギーのマイクロビーム形成の研究についても言及する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	放射線
巻	:	20
号	:	3
ページ数	:	p.21 - 32
発行年月	:	1994/00
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キーワード	:	MeVイオン; マイクロビーム; 局所微量元素分析; 局所重粒子照射; 重イオンマイクロビーム; シングルイオンヒット; サブミクロンビーム

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登録番号 : A19940216
抄録集掲載番号 : 230070
論文投稿番号 : 12785

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