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High-resolution mass spectrometric analysis of gases released from graphite during sequential helium and deuterium glow discharge cleanings

重水素とヘリウムの放電洗浄過程における黒鉛からの放出ガスの高分解能質量分析

廣木 成治 ; 長谷川 靖洋*; 金子 一彦*; 阿部 哲也 ; 村上 義夫

Hiroki, Seiji; not registered; not registered; Abe, Tetsuya; Murakami, Yoshio

黒鉛壁の表面清浄化のために行う、重水素とヘリウムの放電洗浄過程において、ヘリウムと重水素ガスの黒鉛壁への吸蔵量および壁からの放出量を高分解能四極子質量分析計で測定した。重水素とヘリウムの放電洗浄過程で多量の重水素が吸蔵、放出されるのに対し、ヘリウムはごく僅かしか放出されなかった。300$$^{circ}$$Cベーキングの状態で重水素とヘリウムの放電を行ったところ、重水素放電中のヘリウムの放出量は、重水素の吸蔵量の約1/70であった。室温で重水素とヘリウムの放電にさらした黒鉛試料の昇温脱離スペクトルを高分解能四極子質量分析計で調べたところ、ヘリウムは150$$^{circ}$$C前後に脱離のピークがあることがわかった。

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分野:Materials Science, Multidisciplinary

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