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Reaction mechanism of the pyrolysis of polycarbosilane and polycarbosilazane as ceramic precursors

セラミック前験体であるポリカルボシラン及びポリシラザンの熱分解反応機構

成澤 雅紀*; 下田 学*; 岡村 清人*; 杉本 雅樹; 瀬口 忠男

Narisawa, Masaki*; Shimoda, M.*; Okamura, K.*; Sugimoto, Masaki; Seguchi, Tadao

ポリカルボシラン及びポリシラザンから炭化ケイ素及び窒化ケイ素へのセラミック化過程を、ラジカル解析、ガス分析、X線回折等の手法により調べ、その熱分解反応機構を検討した。この研究により、セラミック化過程は2段階のラジカル反応であり、第一段階ではH$$_{2}$$とCH$$_{4}$$の発生を伴って、有機高分子から無機のアモルファスへと変化する。第2段階へはアモルファス中に微細な$$beta$$-SiC結晶が成長する過程でありその際にH$$_{2}$$が発生することが明らかになった。

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パーセンタイル:82.03

分野:Chemistry, Multidisciplinary

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