レーザー化学反応を利用した高分子プロセッシング

Polymer processing by laser-induced chemical reaction

エキシマレーザーの特徴を利用することによって、従来では困難であった高分子の表面改質などのプロセッシングが容易にかつ高度に行われるようになる。本解説では、リソグラフィへの応用の期待から多くの研究が行われたレーザーアブレーションについてこれまでの研究と最近の真空紫外レーザーや極短パルスレーザーによる研究例を紹介した。また、大阪支所の研究成果を中心にフッ素樹脂の表面改質へのレーザーの応用について解説した。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	EMC: electro magnetic compatibility: solution technology: 電磁環境工学情報
巻	:	0
号	:	90
ページ数	:	p.24 - 29
発行年月	:	1995/10
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キーワード	:	レーザー; 高分子; 表面改質; アブレーション

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登録番号 : A19950341
抄録集掲載番号 : 230985
論文投稿番号 : 13522

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