Molecular dynamics simulation of atomic beam bombardment in solid surface

分子動力学法による固体表面への原子ビーム照射解析

異なる粒子(モノマー(3keV)、クラスター(32原子,100eV/atom))照射時の標的材料原子層の動的挙動を分子動力学法を用いて解析した。モノマー照射では標的原子層内に入射粒子が進入し、内部に高温域が形成された。2体相関関数の変化より入射粒子近傍の原子層は溶融し液体に近い構造になっているものと考えられる。また、クラスター照射では標的内原子表面にクレーターが形成され、その際、生じた高温高圧領域が原子層内部に伝播していく様子が観察された。その伝播速度は材料の内部の音速に近いことを示した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Microscale Thermophys. Eng.
巻	:	1
号	:	2
ページ数	:	p.137 - 142
発行年月	:	1997/00
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キーワード	:	Molecular Dynamics Simulation; Cluster Beam Bombardment; Thermal Wave; Pressure Wave

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論文URL	:	https://doi.org/10.1080/108939597200331
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : A19960531
抄録集掲載番号 : 250442
論文投稿番号 : 14710

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