Ion bombardment induced mixing of oxygen-exposed solid surfaces during sputtering

酸素暴露固体表面のイオン衝撃誘起混合

酸素雰囲気下で4keV Ar $^{+}$ イオン衝撃したTiC及び、Mo試料の表面化学組成をオージェ電子分光法により調べた。同時照射により、気相系からの酸素の取り込みは増加し、試料表面層への酸素の取り込み量は、照射量の1/2乗に比例して、210 $^{16}$ Ar $^{+}$ イオン/cm $^{2}$ まで、増加すること、また、酸素の取り込まれる深さは、入射イオンによって作られる衝突カスケードに相当した深さにまで及んでいることが明らかになった。さらに、表面層には、いろいろな原子価を有する酸化物が形成されることが明らかになった。得られた結果は、表面第一層における最大平衡酸素濃度が表面に形成される原子価の高い酸化物によって決められることを示唆している。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	33
号	:
ページ数	:	p.669 - 673
発行年月	:	1988/00
発表会議名	:	12th Int. Conf. on Atomic Collision in Solids
開催年月	:	1987/10
開催都市	:	岡山
開催国	:
キーワード	:	Bonbardment Induced Mixing

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0168-583X(88)90656-8
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登録番号 : B19870127
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