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真空ポンプ用セラミックロータの回転試験

Rotational test of ceramic reactor for vacuum pump

阿部 哲也 ; 村上 義夫; 高澤 国夫*; 引田 和雄*

Abe, Tetsuya; Murakami, Yoshio; Takazawa, Kunio*; not registered

耐磁場・耐放射線性等を有する回転ポンプの開発を目的として、前年度に引き続きセラミックロータを有するターボ分子ポンプの試作を行ない、その回転性能ならびに真空排気性能について試験を行なった。その結果、製作仕様である回転数30,000rpmで連続回転をすることに成功し、また真空排気作用について仕様廻りであることをも確認した。現在、試験中であり、詳細は当日発表する。

no abstracts in English

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