Okano, Fuminori; Matsuzaki, Yoshimi; Kashiwa, Yoshitoshi; not registered
電離真空計は、測定子のバラツキが大きく新品で
20%前後、さらに使用環境、条件によってかなりのバラツキになる為個々に電離真空計を校正する必要がある。基準真空計として、従来はVS-1が使用されて来たが最近スピニングローター真空計(SRG)が市販され、精度的にVS-1と一致し、長期安定性が良く、測定範囲が広いことでSRGを基準真空計として電離真空計の校正を行った。
no abstracts in English
使用言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 31 |
号 |
: | 5 |
ページ数 |
: | p.413 - 415 |
発行年月 |
: | 1988/00 |
発表会議名 |
: | |
開催年月 |
: | 1987/11 |
開催都市 |
: | 東京 |
開催国 |
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キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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