Study of modification processes in sputtering during oxygen exposure

酸素雰囲気でのスパッタリングにおける表面改質過程の研究

酸素雰囲気においてMoおよびTiCをイオン照射した際誘起される表面改質過程を、オージェ電子分光法および、二次イオン質量分析法により調べた。アルゴンイオンおよび重水素イオンを用いて、照射イオン種の効果も合わせて調べた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	39
号	:
ページ数	:	p.599 - 602
発行年月	:	1989/00
発表会議名	:	6th Int. Conf. on Ion Beam Modification of Materials
開催年月	:	1988/06
開催都市	:	東京
開催国	:
キーワード	:	Surface Modification

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0168-583X(89)90856-2
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：45.25 分野：Instruments & Instrumentation
Altmetrics	:

登録番号 : B19870965
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9234

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